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露點(diǎn)傳感器芯片
日期：2024-11-22 15:15
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摘要：
露點(diǎn)傳感器芯片是一種新型的露點(diǎn)傳感器，測(cè)量原理是電學(xué)原理，即“結(jié)露”前后芯片上薄膜交指電容器介質(zhì)的有效介電常數(shù)明顯不同，電容量差別很大。由于這種芯片很小、很薄，可以使用半導(dǎo)體致冷器為冷源，因此體積很小，而且溫度控制靈敏、測(cè)量周期短，用它可以制造出便攜式、高精度、在線式的露點(diǎn)測(cè)量?jī)x表。相比之下，傳統(tǒng)的冷鏡式露點(diǎn)傳感器根據(jù)的是光學(xué)原理，在“結(jié)露”后，鏡面對(duì)光的反射能力明顯減弱。由于它存在光路系統(tǒng)，因此結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且一般使用液氮或干冰作為冷源，因此，需要有相應(yīng)的蒸發(fā)器，不僅體積較大，操作復(fù)雜，而且溫度很難**控制。